Nouvelle Méthode de Diagnostique des Plasmas

Hors l’équilibre thermodynamique

L’intérêt porté à l’étude des spectres émis dans un plasma froid de décharge électrique est due à son importante application dans différents domaines de technologie, tels que l’analyse chimique des matériaux solides, la gravure dans les semi-conducteurs, le revêtement et le traitement des surfaces.

Dans ce livre, nous avons présenté un modèle numérique qui permet de déterminer la densité électronique et la température électronique d’une décharge électrique micro onde (2.45 GH).

Ce modèle est basé sur le traitement numérique des spectres théoriques qui permet d’étudier l’influence de l’élargissement expérimental sur l’intensité des raies spectrales en prenant des spectres expérimentaux résultants du plasma de décharge électrique.

Ces plasmas sont provoqués dans l’hélium pur avec une pression de 4.8 Torr et une puissance MW de 108W.

Notre calcul montre que l’élargissement expérimental est dominant, et la raie 668 nm de l'He est la plus stable.

Ce modèle numérique permet de déterminer la température et la densité électronique et également d’identifier plusieurs raies spectrales qui sont en bon accord avec des résultats expérimental trouvées par V.

A.

Shakhatov.